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外延釘缺陷的檢驗方法

標準
標準編號:YS/T 24-1992 標準狀態:已作廢
標準價格:8.0 客戶評分:星星星星1
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標準簡介
本標 準 規 定了外延釘缺陷的檢驗方法
本標 準 適 用于任何直徑與晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的釘缺陷存在與否的判斷。如果釘缺陷比少且 彼此不相連,本標準可用十釘缺陷的汁數。本標 準 不 能測量釘缺陷的高度
標準狀態:  已作廢
什么是替代情況? 替代情況:  YS/T 24-2016代替
什么是中標分類? 中標分類:  冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
什么是ICS分類?  ICS分類:  電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門:  中國有色金屬工業總公司
發布日期:  1992-03-09
實施日期:  1993-01-01
作廢日期:  2016-09-01
提出單位:  中國有色金屬工業總公司標準計量研究所
起草單位:  L海有色金屬研究所
起草人:  施海青、金勝祖
頁數:  2頁
出版日期:  1993-01-01
標準前頁:  
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